簡要描述:diener真空等離子清洗機(jī)Femto RIE表面清洗適用6寸以下樣品的處理 用于硅片、玻璃、塑膠材料表面的處理配置自動(dòng)/手動(dòng)模式,實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能桌上型,省空間適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
產(chǎn)品目錄
品牌 | Diener | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 | 外形尺寸 | W560?x?D600?x?H860mm |
電源 | AC230?V?/?16?A | 真空泵 | 排氣速度不小于4m3/H,?極限真空度小于10Pa |
工藝氣路 | 單路,雙路,三路 | 工藝氣體 | O2,Ar,N2,CO2,H2(CF4,SF6,NH3)*1 |
diener真空等離子清洗機(jī)/低壓等離子系統(tǒng),適用于等離子清洗、活化、蝕刻及涂層
德國Diener electronic成立于1993年,是一家專門研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機(jī)、等離子射頻電源和大氣(常壓)等離子清洗機(jī)的高科技企業(yè)。
diener真空等離子清洗機(jī)用途:
·適用6寸以下樣品的處理
·用于硅片、玻璃、塑膠材料表面的處理
·配置自動(dòng)/手動(dòng)模式,實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能
·桌上型,省空間
·適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
特點(diǎn):
表面清洗活化
表面蝕刻
可以更靈活地操作,簡便地改變處理氣體的種類和處理程序;不會對操作人員的身體造成任何傷害;其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。
參數(shù):
掃一掃 微信咨詢
©2024 上海爾迪儀器科技有限公司 版權(quán)所有 備案號:滬ICP備19038429號-5 技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng) Sitemap.xml 總訪問量:126493 管理登陸